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Versatile-GH300是凭据当前3D IC造作、先进封装等高端市场需要开发的新一代12英寸超精密晶圆减薄设备。该设备通过新型整机创新布局，优化高刚性结构设计，集成先进的超精密磨削、精度节造及后洗濯工艺，实现超精密减薄、应力去除、洗濯干燥全流程自动化作业，依附卓越的厚度误差与表表缺点节造技术，可实现优异的TTV指标阐发，可能有效满足超薄晶圆与先进封装对平面度、一致性的严苛工艺要求；同时通过高效磨削节拍与不变造程衔接，具备较高的 WPH 产能水平，两全加工精杜纂出产效能。该设备可凭据现实需要，矫捷拓展，研发多种配置，极大地满足了3D IC造作、先进封装等领域晶圆超精密减薄的技术需要。